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高精度拋光系統(tǒng)是半導體晶圓、光學鏡片、藍寶石襯底、硬盤基板及精密模具制造中實現(xiàn)納米級表面粗糙度與亞微米面形精度的關鍵裝備,廣泛應用于集成電路、激光器、航空航天及消費電子領域。高精度拋光系統(tǒng)性能源于多模塊的精密協(xié)同,每一部件均體現(xiàn)“超穩(wěn)運動、智能控制、潔凈環(huán)境、柔性工藝”的制造理念。一、主軸與拋光頭系統(tǒng)空氣靜壓電主軸:轉速0–3000rpm無級可調,徑向跳動≤0.1μm,無機械摩擦,避免振動;多自由...
查看更多2018-09-03
2018-08-02
2018-07-12
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