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DL81 和 DL82 是高精度研磨拋光系統，其中 DL82 配備兩個自動工位，而 DL81 則由一個自動工位和一個手動工位組成。兩款設備均支持 700 mm 研磨盤 和 兩個高精度氣動夾具，可處理最大 8 英寸（200 mm）夾具固定樣品，或最大 12 英寸（300 mm）非夾具自由研磨樣品。