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高精度拋光系統各組成部件功能特性深度剖析
20263-5

高精度拋光系統是半導體晶圓、光學鏡片、藍寶石襯底、硬盤基板及精密模具制造中實現納米級表面粗糙度與亞微米面形精度的關鍵裝備，廣泛應用于集成電路、激光器、航空航天及消費電子領域。高精度拋光系統性能源于多模塊的精密協同，每一部件均體現“超穩運動、智能控制、潔凈環境、柔性工藝”的制造理念。一、主軸與拋光頭系統空氣靜壓電主軸：轉速0–3000rpm無級可調，徑向跳動≤0.1μm，無機械摩擦，避免振動；多自由...

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  • 穩定同位素質譜儀一次進樣實現CHNS的同位素比分析，球閥進樣設計，利用氦氣吹掃功能，實現零空白進樣（標準配置）；三吸附柱于動態吸附-解吸附CO2、N2、SO2、H2O，實現基線分離，均為單獨流路設計，無交叉污染；是真正瞬間燃燒+*燃燒，確保...

    2017-07-24

  • 穩定同位素質譜儀按物質原子、分子或分子碎片的質量差異進行分離和檢測物質組成的一類儀器。質譜儀按應用范圍分為同位素質譜儀、無機質譜儀和有機質譜儀。按分辨本領分為高分辨、中分辨和低分辨質譜儀，穩定同位素質譜儀按工作原理分為靜態儀器和動態儀器。被...

    2017-03-07

  • 化學拋光設備能夠處理表面強化處理、降低金屬零件表面粗糙度、光亮拋光、鏡面拋光等難題，鎖使用的電機轉速就比較低，摩擦產生熱有可能燒毀物件。所使用的拋光輔料偏軟、偏細等等。又能換上拋光盤做車漆護埋?；瘜W拋光設備較重，為2-3kg，但工作起來非常...

    2016-12-22

  • 金剛石是一種純碳物質，也是鉆石的原石。近年來，隨著開發技術難題的攻克，具有晶瑩質感的鉆石不僅僅是女孩們的zui愛，也成為工程師的朋友。由于金剛石的性能，金剛石納米薄膜已經在MEMS、表面聲波（SAW）器件、熱量管理及摩擦涂層等方面得到廣泛應...

    2016-10-28

  • 氣體分析質譜儀多用于生產研究之中來監測氣體和進行過程分析，氣體分析質譜儀應用的領域十分廣泛：如真空科學工業中加速器、高真空、超高真空系統和器件中的氣體分析，航天航空工業中燃料箱、發動機、密封倉安全檢漏、多種氣體分析；電子工業中真空鍍膜、微波...

    2016-08-29

  • 摘要：對比觀察了不同工藝條件下金剛石線鋸和砂漿線鋸切割晶體Si片的表面微觀形貌；分析了其切割機理及去除模式；對比分析了三種不同化學方法鈍化Si片的效果和穩定性；采用逐層腐蝕去除Si片的損傷層，使用碘酒對其進行化學鈍化，然后測試其少子壽命，分...

    2016-08-09

  • 研磨指通過研磨的方法，除去切片和輪磨所造成的硅片表面鋸痕及表面的損傷層，有效改善單晶硅片的翹曲度、平坦度與平行度，達到一個拋光過程可以處理的規格。硅片研磨質量直接影響到拋光質量及拋光工序的整體效率，甚至影響到IC的性能。硅片研磨加工模型如圖...

    2016-05-05

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